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羅門哈斯製造技術中心　12月於新竹正式揭幕半導體設備商積極佈局　搶攻亞太市場商機

（記者宋丁儀∕台北） 2006/09/13

　全球最大半導體化學機械研磨製程材料供應商羅門哈斯（Rohm and Haas）耗資5,000萬美元於竹南打造的製造技術中心，將在9月取得使用執照，羅門哈斯台灣區總經理楊肇華表示，該中心預定12月正式開幕，而第二期最快2007年第二季完工、2008年第一季營運生產，將落實亞太在地化技術支援及生產。

　2006年台灣半導體設備暨材料展（Semicon Taiwan），除了羅門哈斯，還包括佳能（Canon）、科磊（KLA-Tencor）、亞舍立（Axcelis）及AVIZA等國際大廠，皆重裝備登台，使得展出廠商數及參展人數都較主辦單位預期還高，也有許多國際設備材料大廠首次在台灣舉辦最新產品發表會，顯示其對台灣市場之重視。

　羅門哈斯台灣區總經理楊肇華表示，竹南亞大製造與技術中心是羅門哈斯在亞太區第二個製造技術中心，第一階段的辦公室及工廠已近完工，將在9月取得使用執照，已有部份在台員工進駐；第二階段技術中心及化學機械研磨製程（CMP）實驗室，也超越進度趕工中，預計2007年第二季完工，最快2008年第一季投片營運，該技術中心將在12月12日正式舉行開幕典禮。

　羅門哈斯此亞太製造技術中心佔地2.3公頃、耗資5,000萬美元，是由相當有晶圓廠設計經驗的潘冀建築師事務所設計，共擁有3,000～5,000平方英呎的10級無塵室，未來將投入IC 1000研磨墊生產，及最新IC 1000AT、VisionPad等65奈米、45奈米以下製程所需研磨墊量產，就近服務最大客戶台積電（2330）、聯電（2303）；羅門哈斯表示，當初欲興建亞太製造技術中心，韓國、上海都曾列入選項，但最後鍾情新竹地區，就是為了貼近新竹、台中客戶需求。

　此外，眾多知名設備品牌也在Semicon Taiwan中重裝備登場，由於ASML及尼康（Nikon）都宣稱其技術已可達22奈米以下浸潤式顯影，並先後推出1900i、610系列產品，11日展場也傳出，暫且落後的佳能則將在2006年日本大展中推出下一世代浸潤式微影設備，且性能較競爭對手更佳，台灣方面則預計2007年下半引進此機種。

　由於市場預期，2007年半導體業者整體資本支出恐較2006年持平保守，但2008年資本支出將再度成長，各家設備大廠皆摩拳擦掌，以台灣為亞太事業佈局的前哨站；其中，在亞太市場剛起步的AVIZA表示，過去原子層沉積設備（ALD）客戶多以記憶體業者為主，但隨著亞太佈局加快，AVIZA的化學氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）及蝕刻機（Etch），都逐漸打開邏輯客戶群，甚至是因應客戶量產Flash的需求。

　由於近年來不乏台灣設備供應商切入離子植入機，因此國外業者也藉由參展來台鞏固商機；目前離子植入機佔營收8成的亞舍立指出，儘管不乏台灣廠商切入此領域，但亞舍立每年投資巨額研發費用開發高劑量（HD）及高能（HE）離子植入系統研發，市佔率高達3成以上，短時間競爭對手仍無法取代。

posted by C.H. Chen @ 1:35 AM