富士通與Advantest將於07年提供EB直描的65mn工藝LSI試製服務
DATE 2006/09/21/01【日經BP社報道】富士通與愛德萬測試（Advantest）將涉足借助電子束（EB）直接描畫技術提供LSI試製服務（富士通發表資料，日文，愛德萬發表資料，日文）。該服務將首先面向65nm工藝于2007年度開始，將來還將支援45nm工藝。
兩家公司初步定於2006年11月在富士通的事業所內設立合資公司，著手開發支援EB直描的工藝技術。新公司將融匯富士通的工藝技術和愛德萬的EB曝光裝置技術。為此，愛德萬將著手開發支援65～45nm工藝的EB直描裝置。合資公司的計劃出資比為，富士通佔55％，愛德萬佔45％。（記者：大下 淳一）
posted by C.H. Chen @ 10:54 PM
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